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Cn

IPM半導體中度嚴苛系列

用途:

Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant


特點:

綠色制造、全新系列干式真空泵

體積小、耗功低、大幅度降低成本

用于中度嚴苛制程的節(jié)能泵


規(guī)格參數(shù)
產(chǎn)品樣本和技術(shù)手冊

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產(chǎn)品外觀圖

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